1αnm制程内存虽然使用的EUV光刻机成本高昂，但是有助于提高生产效率，是无法绕过的升级过程，2022年中海力士也会继续扩大1αnm制程内存生产，采用EUV技术的1αnm产量预计到年底达到25%。
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