随着国内自主芯片突破5纳米后，进一步证明我国科研技术是不容忽视的，光刻机板块随之走强，连带光刻胶也纷纷上涨。

光刻机板块

1.波长光电17.5亿市值

在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。在激光检测和测量方向，公司产品目前已进入半导体光刻领域配套检测产业。

2.张江高科367亿市值

公司通过旗下全资子公司间接参股上海微电子装备（集团）股份有限公司。上海微电子装备（集团）股份有限公司(SMEE）主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。上海微电子旗下600系列光刻机可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求，该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。

3.炬光科技53.6亿市值

公司主要从事激光行业上游的高功率半导体激光元器件、激光光学元器件的研发、生产和销售。公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商，同时也为多家行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。

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